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PRODUCT CLASSIFICATION電阻率測試儀(RESmap )在對低電阻率晶錠和晶圓進行非接觸式測量方式上擁有非常重要的重復性 Si | Ge | 化合物半導體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導電 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD用于全自動分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀有著*的XRD系統,用于單晶晶錠的自動定向、傾斜和對準研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Omega/Theta XRD- 定制的樣品架用于微小圓柱體、大型晶鑄或立方體晶體定向的夾具
Omega/Theta XRD- 搖擺曲線測量意味著在Theta-scan模式下進行測量,這需要一個測角儀。一個雙晶體被帶入主光束路徑,以減少光譜寬度和發散度。然而,其副作用是強烈的強度降低。
Theta XRD晶錠粘接轉移技術(堆垛 stacking),晶體(如SiC的晶錠)。這些需要在線切過程之前進行定向對準。Freiberg儀器公司提供了一個方便的支架系統,使用Omega-scan對準晶錠。整個堆垛被轉移到線鋸。平行的鋸切可極大節省時間,極大提升生產效率,提高制造良率。
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